リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

グリス・オイル回収装置「オカクリーンＧ」※No.3グリス回収可能

高粘度のグリスも吸引できる！廃グリス・オイルを爆速で吸い取れる回収装置…

工場内設備でのメンテナンス時、グリス交換や清掃を行う場合、通常はウエスでふき取る、ヘラですくいとるなど手間がかかります。 グリス・オイル回収装置「オカクリーンＧ」はエア式グリス・オイル吸引機で、あっという間に不要になったグリス等を吸い取ることができる回収装置で...

メーカー・取り扱い企業： ザーレン・コーポレーション株式会社