ウエハーステップハイトのインプロセス測定

「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2…

研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。 非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プロ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

半導体業界のCMP工程および研削工程の制御

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの…

半導体業界では、CMPや機械研削など、複数の製造段階でウエハーの 物理的な厚さを測定する必要があります。 工程全体をモニターし、最適化するには厚さを把握しておく事が重要ですが、 現在この作業には主に機械的な接触式プローブが使用されています。 このプローブには、ウエハーとの接触、表面の損傷、厚さ測定にチャック テーブルからの参照値が必要という大きなデメリットがあり、損耗もするので ...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社