組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

耐圧性・耐薬品性を兼ね備える！カートリッジ フィルターチャンバー

PR上限圧力3.5barの高耐久性を保持！耐薬品性にも優れ、ヒンジ付きカバ…

『カートリッジ フィルターチャンバー』は、電解液やその他の ウェットケミカル処理溶液のろ過用に設計および製造されている製品です。 堅牢で信頼性の高いスマート構造と、圧力損失を最小限に抑えるために 強化された流体力学設計の組み合わせ。 上限圧力3.5bar（オプションで5.5bar）とスチール製の製品と同等の耐圧性と 優れた耐薬品性を保持しています。 これにより、最大級の設置後のアップタイムと...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社河口・サポート 名古屋事務所

ウェハーグリッパー SWGmシリーズ

デリケートなワークの高速搬送を可能にし、太陽電池の生産性を向上！

グリッパーの吸着面が、単結晶および多結晶の5～6インチのウェハー・セルと同等のサイズのため、吸着時の局所的な負荷による破損を防ぎます。 ベルヌーイ型のグリッパーと比較して、横ずれが少なく、エア消費量を抑えることができます。 グリッパー本体にホースを接続し、排気場所を任意に設定できるため、吸着搬送時に埃を巻き上げず、クリーンルームでの使用にも適しています。 最新型のSWGmでは、排気口...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社