IR乾燥炉

処理速度は75mm/s！ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーターで加熱乾燥…

『IR乾燥炉』は、ローラー搬送によるタクト搬送で処理を行う製品です。 洗浄、エアブロー後の基板を加熱することにより、基板上の微水分を 蒸発させ、乾燥を実施。 ガラス基板をクリーン遠赤外線ヒーター（クラス100）で加熱乾燥します。 【主な仕様】 ■被加熱物：TFT用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学