DUV フォトリソグラフィ用 基板、コンポーネンツ

◆DUVフォトリソグラフィ向◆高品質な合成結晶石英基板を利用した各種コ…

V(深紫外)波長レーザーを用いたフォトリソグラフィー技術は半導体、ナノテクノロジーをはじめ各種の産業用途に利用され私達の生活に欠かせないものになっています。更なる高密度化／狭線幅化に伴いKrFエキシマレーザー(248nm)、ArFエキシマレーザー(193nm)が広く利用されそれら光源を取り巻く高性能な各種の光学コンポーネントへの要求が高まっています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトロンサイエンス