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【適用事例】半導体製造装置 金属セラミックス複合材料『MMC』
PR複合材料MMCの接合技術により、新たな用途への展開が可能になりました。
MMC同士を接合することで中空構造体の製造が可能になりました。接合技術で形成された内部流路に冷媒やガスを流すことが可能です。高熱伝導、低熱膨張を特長とするMMCは、温度による熱変形が少なく、組み込まれる部品への悪影響を防ぎます。 <冷却ジャケットへの適用> アルミナESCとの熱膨張差低減によるアーキング防止、高熱伝導、低熱膨張によるエッチングレート向上 <ウエハチャックへの適用> ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ファインセラミックス株式会社
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PR薄手!柔軟!だから多種多様な形状で使用可能な面状発熱体ヒーターです!
ただ発熱するだけじゃない! 【1】薄くてやわらかいから小型・軽量化に貢献 【2】昇温レスポンスが早いから大幅性能アップ 【3】自由な形状で設計できるから用途が広がる シンワの面状発熱体は、金属箔に電気を流して発熱させる薄いシート状の発熱体です。非常に薄くてやわらかい為、曲面や狭いスペースへの加熱に適しています。さらに回路をエッチングで形成する為、設計者の意図した発熱分布を得ることが...
メーカー・取り扱い企業: シンワ測定株式会社 FE部
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中古半導体製造装置
半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 ・主な取り扱い中古装置 露光機(Stepper、Aligner) CVD装置、PVD装置 蒸着機、洗浄機、エッチング装置 拡散炉、イオン注入機 測定・計測器、 後工程装置(ダイサー、ワイヤーボンダー) 装置在庫の確認、お見積もり、査定等についてお気軽にご相談下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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