【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

法規制に非該当でも高性能な洗浄剤『ＡＭＯＬＥＡ ＡＳ-３００』

PR『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）』は乾燥工程が短縮でき、不燃性で作業環境濃度…

「地球」を考える「化学」の時代。ＡＧＣが提案する新製品！フッ素系溶剤『ＡＭＯＬＥＡ（アモレア）ＡＳ-３００』は、各種法規制や環境規制に非該当、安全で使いやすい不燃のフッ素系洗浄剤です。 【特長】 ■環境対応…地球温暖化係数（ＧＷＰ）１未満で、地球環境に配慮した洗浄剤です。 ■洗浄力…ＫＢ値４８の優れた洗浄力で、精密・金属部品の脱脂洗浄に使用可能。可燃性溶剤や臭素系、塩素系溶剤の代替として...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

R＆Dからパイロット生産への移行に適切なInception

■ 量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現 ■ 最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソフトウェア ■ 標準仕様でタンク2基を搭載し多様なプロセスをサポート ■ エッチングレート100Å/Secにおいても優秀なユニフォーミティ ■ 搬送系はマニュアル・自動に対応 ■ 初期投資が抑えられる ■ 省スペース ■ 小ロット生産向け ■ 酸とソルベントのプロセス ■ スピ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

■ 2-5ポジション、2軸設計 ■ プロセスタンク複数搭載可 ■ 150～300mmウェハ対応 ■ タンクカバー（オプション ■ 圧力式または光学式タンクレベルモニタリング 【その他】 ■ エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション ■ 分かりやすいレシピ構成 ■ 薬品添加、注入、充填オプション ■ 酸、溶解モデル ■ タンク5つまで搭載可 ■ マランゴニ乾燥組み込み可 【専用ソフトI...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

Advancer セミオートウェットプロセッサー

省スペースながら精密なパフォーマンス

コストながら高いパフォーマンス ■ 前後側面マウントロボット ■ 大きな薬液容量 ■ 薬液投入、タンク内で混合 ■ 素早いリンス 【生産性】 最適なパフォーマンスのための各種モデル ■ 洗浄、エッチング、剥離など多様なアプリケーション ■ タンク数1-6によって3種類のプラットフォームをご用意 ■ 酸、ソルベントプロセス ■ ロボットはオプションで２機まで搭載 ■ 4，5，6，8インチに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）