フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

金属銘板『アルミ銘板(彫刻・エッチング)』

お客様のご要望に合わせて、彫刻タイプ・エッチングタイプの選択が可能な『…

銘板」は、キズが付きにくいアルマイト処理を施したアルミ板に直接彫刻する銘板です。 彫刻銘板は原版費用が掛からないので安価に製作でき、１枚ずつ内容が違う金属銘板を製作する時に最適です。 「エッチングタイプ アルミ銘板」は、アルミ板表面に写真製版されたフィルムを感光・焼付け・現像処理を行い、文字や図柄を薬品で腐食(エッチング)させ、凹部分にアミノアルキド樹脂塗料を充填した銘板です。 同一内...

メーカー・取り扱い企業： 駿河株式会社

水処理プロセス『Free シリーズ』

幅広い工程由来の排水に適用可能！従来法の問題点を改善した化学処理プロセ…

【適用事例/検討事例】 ■酸洗廃液処理 ■ガラスエッチング廃液処理 ■スクラバー廃液処理 ■半導体材料洗浄廃液処理 ■水回収との組み合わせ処理 ■酸回収との組み合わせ処理 ■原子力関連施設廃液処理 ■電子部品エッチング廃液処理　など ...

メーカー・取り扱い企業： 住友金属鉱山エンジニアリング株式会社

酸・金属塩分離装置「リサイター」

水の使用のみで金属塩と遊離酸を分離します！動画掲載中！

イターは金属を含んだ酸溶液を特殊なイオン交換樹脂で金属塩と遊離酸に分離して、金属塩を排出する装置です。遊離酸の回収には薬品や熱などのエネルギーは必要なく、水を使用するだけなので、大変経済的です。エッチングなど処理液の組成や濃度を一定に保ちます。 *酸処理液の濃度管理の自動化。　*酸処理工程の安定化。 *酸処理液の長寿命化。　*酸消費量の削減。 *廃酸処分費の削減。　*排水処理への負荷の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三進製作所