ALIO Industries　ヘキサポッド ステージ

PRALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転…

ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

アライメントステージ(NTX形)

直動運動＋回転運動の駆動要素を同一平面上に配置した薄型ステージ！

【仕様(一部)】 〈NTX-C(小型仕様)〉 ■ボールねじ：リード 1mm/直径 6mm ■モータ分割数：1000P/rev ■エンコーダ仕様：20ビットインクリメンタルエンコーダ ■分解能(1パルス移動量)：1μm ■最高速度：50mm/sec(50Kpps) ■加減速時間(0～最高速)：0.1sec ■水平可搬質量：2...

メーカー・取り扱い企業： 三井電子株式会社 産業機器分野のサービスパートーナー