【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

新固定式ショックアブソーバ「FNJシリーズ」

PR当社試験にて作動回数1,000万回をクリア。ステンレス採用により防錆性…

●耐久性能向上 当社試験にて作動回数1,000万回をクリア。 また新構造を採用し、吸収エネルギーも従来比10％アップ。 ショックアブソーバの交換回数を減らし、ランニングコストの低減が期待できる。 ●本体ステンレス仕様 外観パーツにステンレスを多用（※）し、防錆性能が大幅に向上。 設計を見直したことで軽量・コンパクトを実現した。 ※キャップは樹脂製 ●食品機械潤滑油採用 内...

メーカー・取り扱い企業： 不二ラテックス株式会社

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイル...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

真空ポンプの運用コストを削減『サン・オイルクリーナー』：大成技研

大成技研の特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・…

半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにした、油回転真空ポンプ用オイルの浄化装置です。 油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸をパーティクル中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し、常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしてい...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社