分析・解析機器　全自動気相分解装置「Expert(TM)」

シリコンウェーハ中の不純物分析に欠かせない全自動気相分解(VPD)装置…

半導体製造において、ウェーハの金属不純物分析は欠くことができない管理項目の一つです。 弊社のVPD装置は、従来の装置にはない様々な特長を持っています。 ...【特徴】 ◯特別に設計されたオートサンプラーと独自のソフトウェアを用い、 　ウェーハの分解、回収、分析まで真の自動化を実現 ◯VPDシステムからICP-MSへの移送中に起こる汚染のリスクを回避 ◯二段構造のスキャンノズルを用いて、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.