AR膜欠陥検査装置『EX2001S』

水平FFU搭載！高速クリーン検査可能！コンパクト設計のAR膜欠陥検査装…

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社