大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

微酸性電解水噴霧器　Apia mist mini（ミストミニ）

空中浮遊菌やウイルス、カビ対策に･･･ 無塩の微酸性電解水だから、人…

・電源電圧：ＡＣ１００Ｖ（５０／６０Hz） ・消費電力：９５Ｗ ・噴霧方式：超音波振動方式 ・カセット容器容量：１リットル（別置き容器４リットル付 ・噴霧量：～０.４～０.６５ℓ／h ・除菌床面積（目安）：約１２０m² ・運転方法：連続運転／間欠運転／オフタイマー ・サイズ：Ｗ２９５×Ｄ１...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ホクエツ