大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【UVランプ & UV-LED】 Hot Swapテクノロジー

IST社すべてのUV照射システムに対応！“Hot Swap”についてご…

“Hot Swap”テクノロジーにより、電源ユニット、ケーブル、その他 冷却設備/配管等、 システムを構成する主要部品を共用したまま、ランプ カセットの入れ替えのみでUVランプおよびUV-LEDが両用可能となります。 “Hot Swap”システムの導入により、ご使用のインク・材料の開発状況に 合わせ、UVランプからUV・LEDへの切り替...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社K-SOLUTION 本社