大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

電極材料の極薄素材を『ダレ』無く切断できる超精密自動カッター

電極材料等の極薄素材を『バリ』『ダレ』無く切断できる自動超精密カッター…

弊社は、≪精密抜き≫ ≪精密切断≫治具・金型のパイオニアとして、各種治具／金型をオーダーにて「設計〜製作」まで、ご提案させていただいております。 ...【特徴】 ○『シート状』『ロール状』の電極材料を自動送りで精密カット。 ○送り機能付きのため製品が変形しません。 ○エアータイプのため自動切断が可能です。 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社野上技研 茨城工場