6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

6・8インチ用　ウェハソータ　W-ST-200A

8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 　作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング