大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

【カスタム自由！自動搬送装置】ご提案いたします。

搬送工程の省人化をご提案。 カスタム自由でお客様のご要望にフィットし…

顕微鏡と組み合わせたい ⇒搬送装置のみでも対応可能。 　ご使用の装置サイズや実施されたい内容をお打合せで確認させて頂きます。 ・検査工程に作業員が付きっ切りになってしまっている。 ⇒１カセット終了まですべて自動で対応可能。 ・装置の長期に困っている。 ⇒入手しやすい部品で構成しフレキシブルに納期対応。 お客様のご要望に合わせたフルカスタマイズでの提案となります為、 不要...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課