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検査データファイル、欠陥画像ファイルを判定やマクロMAPで表示可能
サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。 ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイティ・テック
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カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。 1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。 25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイティ・テック
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