大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体材料ガス検知器　XPS-7

○センサユニットの交換により1台で様々なガスを検知 ・警報機能　・自…

・カセット式センサユニットでガス検知器の校正が不要！* カセット式センサユニットは校正済みでお客様へお届け。簡単に交換ができるので、持ち帰り点検校正や、現場での校正作業が不要です。*センサユニットは6ヶ月...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メジャー