大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超音波ユニット『J型』

KF（標準型）・KG（強力型）に搭載可能！付着・目詰まり防止に効果絶大

『J型』は、KOWA独自の強力タイプに組込み可能な超音波ユニットです。 カセットアングル部より、超音波を網に伝えるため、機械振動に 強固な構造ができ、MAX10Gに対応。 また、国産超音波ユニットであり、コスト面を抑え、更にアフターなどの 対応が迅速かつ明確になりま...

メーカー・取り扱い企業： エフシステムズ株式会社