大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マウンター用ラベルフィーダカセット

マウンター用ラベルフィーダカセット

に比べ設備導入費が安く、設置スペーズの問題はありません。 ■ラベルによる2次元コードラベル貼付はレーザーに比べ小さいスペースでＯＫでまた安定した読取ができます。基板上にスペースがない場合でもカセットによるラベル貼付ならＩＣの直上でノズルをとめそこからエア排出でラベルを吹き飛ばし貼付しリフローで密着させることも可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニックス