バッチ式　ウェハー洗浄装置

大掛かりな改造も時間の短縮が可能

○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付き ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ○ウェーハマッピング機能 ○カセットストッカーが可能 ○様々な追加機能をご用意 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください ...

メーカー・取り扱い企業： セファテクノロジー株式会社 京都事業所