枚葉式プラズマ処理装置　WLP-611S、WLP-600S

価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…

○スループット 3000枚／400時間（ポリイミド膜１μｍエッチング時） ○処理ステップ 3ステップ，10レシピ ○ウエハーサイズ 6インチ，8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 垂直動作カセットエレベータ（6インチ，8インチ兼用） ○本体寸法 W600×D1500×H1850 ○本体重量 650kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト