半導体カセット寸法検査装置『FSMシリーズ』

半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクト…

ンピンホールを測定・検査します。 特注対応も行っております。お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■各種メーカーのFOUP/FOSB/OCに対応 ■φ300mmの定型サイズ以外やカラーカセットも検査可能 ■2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能 ■超広視野で行う高速処理でスループットは業界最速クラス ■特注も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所