大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

エマルジョンガラス自動現像機EL-GP

独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る

補充システム ■処理槽容量：約30L [EL-GPII] ■サイズ（本体）：幅2,200×長さ3,000×高さ2,600mm ■対応最大ワークサイズ：508×610mm ■処理方式：カセット式ローダ・アンローダ（標準5枚）を装備し、 　　　　　　2アーム搬送系で連続同時処理により、タクトタイムの短縮を実現 ■タクトタイム：20～25分/枚 ■処理制御：自動連続処理システム・自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部