プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時） ○処理ステップ：3ステップ、10レシピ ○ウエハーサイズ：6インチ、8インチ兼用 ○ウエハー搬送方式 →垂直動作カセットエレベータ（6インチ、8インチ兼用） →水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット ○本体寸法：W600×D1500×H1850 ○本体重量：650kg ●詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト