【めっき技術】パワーデバイスへの無電解UBMめっき技術

20年間のノウハウによるパワーデバイスの実装に欠かせない無電解めっき技…

当社は、半導体ウエハAl電極に無電解NiP/Auめっきを行っており、車載向けの パワー半導体をメインとしております。 お客様からの要求事項を満足する為に、独自のめっき用カセットと循環機構を 設計しウエハ面内均一性向上に取り組んでおります。 また、膜厚分布が均一化する事で、Ni中に含まれるP含有量のチップ間差異を 小さくし半田実装時のNi喰われ量バラツキも軽減可...

メーカー・取り扱い企業： 清川メッキ工業株式会社