ボンベ真空加熱炉

半導体製造工程などで使用する高純度ガスボンベ内に付着している不純物を除…

ボンベの内壁に付着している不純物を加熱真空引きにより取り除きます。 ボンベサイズ、同時処理本数はカスタマイズにて対応します。 自動機、手動機など予算に合わせご提案します。 【特長】 ■ボンベの均一な加熱が可能です（Max200℃）。炉内温度±約1％ 。 ■ボンベ加熱と同時にボンベの安全弁への冷却も可能です。（熱による安全弁の破損防止の為） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

空圧制御式　薬液供給装置『AID-S100』※特許出願中

電源を使わず薬液圧送！小型で運搬・設置もラクラク。高純度試薬・EL級薬…

外形寸法：高さ1220mm×幅550mm×奥行960mm 接液部・継手の材質：SUS/PFA/PTFE 【安全対策機能】 ◎運転状況をランプで確認できます。 ◎動力源がない場合(ガスボンベが空など)にはインターロック機構により装置は作動しません。 ◎加圧時、脱圧時のキャニスタ缶内圧力を圧力ゲージで確認できます。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

半自動ガス切替装置

簡単な操作で、途切れることなくガスを供給

弁を内蔵 　ボンベ交換時に口金よりガスが逆流噴出することがない ■系列切替時に電磁弁等の電気を使用しないため 　水素などの可燃性ガスにも使用可能 ■豊富なオプションをご用意 　・ガスボンベの本数追加(2×2から必要に応じて) 　・圧力センサ、トランスミッタ追加 　・エアー駆動バルブ、電磁弁による自動制御 　・計装シーケンス制御 　・切替、異常等の遠方警報出力 ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所