差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』

あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセス…

る低真空チャンバーに取り付け可能 ・新しいHexBlockTMサンプリングシステムにより性能が向上 ・プロセス圧力のモニタおよび真空のインターロック用としてCDGを採用 ・校正のための基準ガスボンベをオプションで用意 ・長寿命のフローズドイオンソースによりsub-ppmレベルの汚染物質の検出 　が可能で、腐食性ガスや反応性ガスにも対応 ・軽量で移動が容易...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社