大型基板対応装置（成膜、エッチング、アニール）

PR先端パッケージへの展開□510×515mm基板への処理が可能

前工程から後工程まで、一括ラインでのご提案をさせていただきます。 （成膜、エッチング・アッシング、アニール） カスタムメイドのため、必要機能だけを盛り込んだコスト効率の良い設備のご提案を致します。 ...●成膜 生産に適切な装置構成（ロードロックタイプ、インラインタイプなど）をご提案いたします。 必要な機能に応じてカスタムアップが可能です。（加熱室、冷却室、逆スパッタ室 他） ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型局所 脱臭装置『Belicleen Air BA500T』

PRコンパクトなボディで揮発性有機化合物（VOC）成分を強力に除去&…

【ダブルの活性炭で揮発性有機化合物（VOC・MEK）成分を強力に除去】 揮発性有機化合物（VOC・MEK）をダブルの活性炭とHEPAフィルターにより吸着し、クリーンな空気にして排出。工場内の有害物質の吸引を防ぐだけでなく、イヤなニオイも取り除き、吐き気・頭痛・倦怠感などの健康被害から作業員を守ります。 【高額&面倒な工事いらずの簡単設置。低コストで対策可能】 ダクト工事が不要で簡単に低コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベリカ 大阪本社

FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

G１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)