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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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PRG1~G6hの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…
当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用(LCD・OLED)フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ディー・アール・エス(DRS)
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生産設備・研究開発向け!薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供!
プロセスフローと対応装置】 ■洗浄 ・スクラブ式 ・スプレー式 ・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ・パドル式 ■ポスト・ベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ■エッチング ・スプレー式 ・ディップ式 ■剥離・洗浄...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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