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PRハロゲンランプヒーターより放射される光(近赤外線)を照射し、高温・急速…
近赤外線ヒーター ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm~3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイベック
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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複合分子ポンプ TG5000/5003 TG5500/5503
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○世界最大級の複合分子ポンプ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ●その他機能や特長については、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得 NRTL / SEMI-...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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