エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

『バルブシート高温摩耗試験装置』

『バルブシート高温摩耗試験装置』をご紹介します！

。 【特長】 ■バルブシステムを電気・油圧サーボアクチュエータで制御する事により、高速状態で爆発力再現が可能です。 ■光(ハロゲンヒータ)加熱の採用により、供試体に対する高速/高精度且つクリーンなエネルギーによる温度制御が可能です。 ■各種雰囲気ガスをユーティリティとして保有し、そのガスを供試体に均一流れとなるように留意されています。 〈以上、特許取得済み〉 プログラム運転はタ...

メーカー・取り扱い企業： オートマックス株式会社 本社・工場