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高速5軸ミリングマシン「RXU」+オートメーション「RCS」
PR短時間で高精度加工を実現する高速5軸ミリングマシンに省人化を実現するオ…
ドイツ レダース社製の高速 ミリングマシン「RXU」シリーズは全軸リニアモーター駆動+リニアガイドの仕様で経年変化なく高精度加工します。高速スピンドルを標準装備し超硬等HRC60以上の高硬度材のミリングが可能です。チャックしたまま掴み替えることなく、ミリング加工の後はジグ研削加工(オプション)、機上測定まで一連の工程が可能です。 掴み換えなく1台で完成行程まで行える為、「機械設置面積の削減」「人...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゴーショー
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2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。
系: TaN、Ta、Cu、Al、AlN、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系)、グラフェン膜、グラファイト *SiO2,SiN,SiONなど膜種により1枚からでも対応が可能です。 *Suputter成膜にてTi,Cu,Cr,Niなど対応可能です。 *レジスト塗布/露光/エッチングは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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