CZウェーハ　成膜加工

2インチから12インチウェーハへの成膜が可能です。

金属膜系： TaN、Ta、Cu、Al、AlN、Al-Si、Al-Si-Cu、Ni、W、W-Si-Cu その他 Poly-Si、a-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系）、グラフェン膜、グラファイト ＊SiO2,SiN,SiONなど膜種により1枚からでも対応が可能です。 ＊Suputter成膜にてTi,Cu,Cr,Niなど対応可能です。 ＊レジスト塗布/露...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

気体を通すガラス『ポーラスガラス（多孔質硝子）』

ナノサイズの穴が気体を通し、吸着性を利用して分離なども可能。分離・触媒…

す。 （70nm以上の細孔サイズもご相談に応じます） 【応用例】 ■部分多孔質化（ポーラスガラスを一部分だけに適用可能） ■超流動フィルムフロー容器（ガラスの外表面を多孔質化） ■グラフェンで被覆したポーラスガラス（通気性を維持しながら導電性を付与） ※他にも様々なニーズに対応できますので、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社赤川硬質硝子工業所