342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

円筒座標型モジュール『MLS』

簡単導入で省力化に貢献！ドライバは幅広い上位機種に接続可能

『MLS』は、直動(LMガイド)と回転(クロスローラーリング)を 組合わせたシンプルな構成の円筒座標型モジュールです。 各軸をモジュール化しており、モジュール単位で納品、 素早く組立て、素早く導入、素早く復旧。 狭い場所、クレーンがない場所にも持込可能な レイアウトフリーの製品となっております。 【特長】 ■シンプル機構で広い可動領域 ■簡単制御 ■早い導入、早い復旧...

メーカー・取り扱い企業： テックトレーディング株式会社