真空シール『マルチプロセスフェローシール』

真空環境でのウェハー搬送ロボットに対応した多軸機構のフェローシール

真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：2.5 [ガス循環タイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁶[10⁻⁸] ■耐差圧[kg/cm²]：3.5（ゲージ圧） [高真空タイプ] ■耐真空度 Pa[Torr]：10⁻⁷[10⁻⁹] ■耐差圧[kg/cm²]：2.5 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス