薄膜塗工やシビアなプロセスに！高精密油圧式定量ポンプTPL

PR光学フィルム・セパレータなど各種機能性フィルムの薄膜塗工に！

精密ポンプのタクミナが提供する様々なニーズに応える課題解決型ポンプ「スムーズフローポンプ」 「TPLシリーズ」は再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下の連続一定流を実現。ダイヤフラムポンプの特性である脈動を抑止し、ナノ単位の精度が求められる先進的な技術分野で実力を発揮、高い精度が求められるシビアなプロセスで選ばれ続けています。 【主な特長】 ■再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下 精密薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクミナ 本社

φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置

各工程インテグレードで効率生産！！！

ワークサイズ ：φ200、300mm 露光方式　　 ：バキュームコンタクト、 ハードコンタクト、プロキシミティに対応 ランプハウス ：3,5KW又は5KW 照度 　　　　　：20mW/cm2（3.5KW） 照度分布　　 ：±5％以内 タクト 　 　　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

ウェハー露光装置（マスクアライナー）

全自動タイプ(2～12inch 及び 角型等)ウェハー露光装置

概要 高精細露光に最適化た独自UV光学系とフォトマスクとウエハを高精度に平行出しできるメカニズムを採用 バキュームコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシミティー迄対応した全自動露光装置　特注対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

小型ウエハー自動露光装置

LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！

ワークサイズ ： φ2.4インチ（6インチ対応もラインナップ） 露光方式 ： バキュームコンタクト、ハードコンタクト、 プロキシミティ ランプハウス ：500W 照度　　　　　 ：17mW/cm2（3.5KW） 照度分布　　 ：±3％以内 アライメント精度：±1μｍ以下 タ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

ウエハー露光装置（マスクアライナー） 研究開発用

研究開発用手動タイプ

概要 研究開発，小ロット生産まで多用途に対応が可能 ハードコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシティーを選択し使用用途に合わせて提案...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度＝±1μｍ以下！！！

す。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です。 露光方式は、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、プロキシミティに対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所