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酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しN2による加圧圧送に…
CMP装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■PTFE製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300(mm) ○薬液 ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィル...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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