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【コーティング事例】シリコンウエハ基板へのTiN膜コーティング
Alスパッタ+陽極酸化に耐える事ができ、規格を満たす事ができた事例をご…
東京都八王子市にある首都大学東京様からシリコンウエハ基板にAlを スパッタし陽極酸化処理を施したいが、密着性や特性等が規格を 満足する事がでいず困っていると相談がありました。 TiN膜を初層に成膜することにより、どのような変化を示すの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケンコー・トキナー 本社
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