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2枚重ねが出ない構造になっています!
粗洗浄後の積み重なった、140μm~200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...
メーカー・取り扱い企業: マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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