〈5/24接着粘着技術展2024出展〉ホットメルトロールコーター

PRファストラボ室にて最大塗布幅1000mm対応のテスト機で試作可能！

長年の光ディスク（DVD）接着で培ったノウハウを取り入れたホットメルト用ロールコーターです。 光ディスクでは１０μ±０．５μの精度で塗布を行っています。 塗布幅は標準として１６００ｍｍまで可能です。（仕様による） ファストラボ室にて最大塗布幅１０００mm対応のテスト機で試作可能です。 少量塗布から多量塗布まで、塗布基材に応じた多様な塗布が出来ます。 仕様はお客様の希望に応じて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファスト

ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』

シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出し…

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。 また、PCに取り込まれたデータを解析しグロー...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社

シリコンウエハー専用　酸素分析装置『O836Si』

非分散型赤外線検出法を採用！高精度の酸素分析装置をご紹介

『O836Si』は、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に 応えるために開発された、シリコンウエハー専用酸素分析装置です。 高い精度を誇る非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせで正確・高精度な酸素分析を可能にします。 ま...

メーカー・取り扱い企業： LECOジャパン合同会社

非接触厚さ測定装置　ＯＺＵＭＡ２２　

半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素砒素）、…

半導体用ウエハー（Siシリコンウエハー・GaAs・ガリウム砒素（Ga)砒素(As)）、ガラス、金属等の高精度非接触厚さ測定装置のOZUMAが新しくなりました。 非接触厚さ測定装置OZUMA22は半導体用ウエハー（Siシリコンウエハ...

メーカー・取り扱い企業： 佐々木工機株式会社

薄ウエハー厚み測定機『Real BG300』

Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能な測定機をご紹介

『Real BG300』は、バックグラインド工程後の多機能な厚み計測装置です。 高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。 また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付き ウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。 【特長】 ■シリコン透過式変位セン...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

赤外線顕微鏡『IR-1300RL』

各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測する赤外線反射顕…

『IR1300RL』は、顕微鏡本体にオリンパス製BX53を使用した 赤外線顕微鏡です。 高解像度赤外線CMOSカメラとイメージエンハンサソフトにより、 各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測できます。 また、独自のイメージエンハンサソフトにより、張り合わせウエハーの アライメントマークずれ計測が可能です。 【特長】 ■各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

TT-XN２

結晶引き上げ用ロードセルです。

半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。 ...結晶引き上げ用ロードセルです。 半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。 •従来以上のオーバーロード保護 •大口径インゴット引き上げ時のシードタッチから判別可能な二段式（二出力）タイプ •差動出力によりノイズに強い •荷重感度部に非直線、ヒ...

メーカー・取り扱い企業： ティアック株式会社

X線観察装置『LX-1610』

世界最小クラスのX線焦点寸法！6軸制御により高機能観察や自動検査が可能…

ーブル付、サンプル位置自動修正 ■カメラ60°傾斜機能付き、サンブル位置自動修正 ■自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査 ■PC内蔵、24インチLCD、キーボード付属 ■12インチシリコンウエハー対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビット

不良判定用CG生成（機械学習向け教師画像）

線傷、打痕、割れ（クラック）など、教師データに活用可能な不良画像を生成…

ける素材は自由に設定することができます。例えば、セラミック、金属のヘアライン仕上げ / サテン仕上げなど、テクスチャーの差し替えにより、あらゆる素材に対応します。テクスチャーと形状作成により、シリコンウエハーのような複雑な素材にも対応することもできます。 ● 傷の種類・付け方は自由自在 パラメーターを自由に設定することで、大きさ、長さ、深さ、位置、角度など、あらゆる傷の形状を生成します。基...

メーカー・取り扱い企業： シリコンスタジオ株式会社

【製品リスト】粒子径標準粒子

粒子径が非常に均一な球体「粒子径標準粒子」についてご紹介します

相関分光法(PCS)と 透過型電子顕微鏡(TEM)で測定した信頼性の高い粒子です。 大きさが均一の球体でありNISTのトレーサブルな方法で校正された粒子の ため、各種分析装置の校正やシリコンウエハー等の異物検査装置の チェック等の用途に好適です。 その他にも、特定の大きさの粒子が必要な実験や研究にも利用されています。 【特長】 ■粒子径標準粒子は粒子径が非常に均一な球体 ...

メーカー・取り扱い企業： コアフロント株式会社

赤外線顕微鏡システム『IR1300mea』

手動動作タイプ！各種シリコンデバイスの界面の各部寸法を鮮明な画像で計測…

『IR1300mea』は、高解像度赤外線CMOSカメラとイメージ エンハンサソフトにより各種シリコンデバイス界面の各部寸法を鮮明な 画像で計測することができる赤外線透過反射顕微鏡システムです。 フォーカス軸は長ストロークになっていますので高さのある冶具に 搭載したままウエハーの検査、計測が可能です。 【特長】 ■X軸、Y軸、Z軸にリニアスケールを搭載しているため視野外の精密な ...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社