ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』

シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出し…

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。 また、PCに取り込まれたデータを解析しグロー...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社

薄ウエハー厚み測定機『Real BG300』

Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能な測定機をご紹介

『Real BG300』は、バックグラインド工程後の多機能な厚み計測装置です。 高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。 また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付き ウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。 【特長】 ■シリコン透過式変位セン...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

『スクラッチ装置』は、ウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少な スクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。 ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

【製品リスト】粒子径標準粒子

粒子径が非常に均一な球体「粒子径標準粒子」についてご紹介します

相関分光法(PCS)と 透過型電子顕微鏡(TEM)で測定した信頼性の高い粒子です。 大きさが均一の球体でありNISTのトレーサブルな方法で校正された粒子の ため、各種分析装置の校正やシリコンウエハー等の異物検査装置の チェック等の用途に好適です。 その他にも、特定の大きさの粒子が必要な実験や研究にも利用されています。 【特長】 ■粒子径標準粒子は粒子径が非常に均一な球体 ...

メーカー・取り扱い企業： コアフロント株式会社