【分析事例】撥水箇所の成分分析

TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。TOF-SIMSは通常500μm角までの測定視野となりますが、ステージを動かしながら測定することで、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

極低温衝撃試験

試験温度も極低温から高温までの広い範囲での衝撃試験に対応し、多数の実績…

ウム温度)から高温までの広い範囲での 衝撃試験に対応し、多数の実績を有しています。 【測定条件(抜粋)】 ■試験温度と温度調整 ・800℃～200℃：電気炉 ・200℃～常温：シリコンオイルとオイルバス ・0℃～-70℃：エタノールとドライアイス ・-70℃～-150℃：イソペンタンと液体窒素 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 川重テクノロジー株式会社