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高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工!プロセスガスからラジカルを選択的に…
グ装置です。 プロセスガスからラジカルを選択的に生成し、低電子温度、高密度プラズマが 得られる60MHzパワーを上部電極に印加。 また、常に適切なエッチングプロセス条件が維持されるシーケンスプログラムを 内蔵しています。 【特長】 ■平行平板型エッチング装置 ■高精度かつ高信頼性の酸化膜微細加工を実現 ■プロセスガスからラジカルを選択的に生成 ■60MHzパワーを上...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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<30W(制御精度10mW)低出力RFエッチングによる、精細でダメー…
6ガス系統要) • SiO2エッチング(*『フッ化ガス供給モジュール』オプション, CHF3ガス系統要) 【仕様】 ◉ 対応基板:〜Φ6inch ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動シーケンス ◉ APC自動圧力制御 ◉ Arガス1系統(標準) + N2, O2 増設可能 ◉ Windows PCソフトウエア付属:自動エッチングレシピ作成・保存・保存、データロギング 【寸法・...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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