FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

PR従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受け継いだ最新モデルです。 【特長】 ■ 高いエネルギー効率 　従来のロータリーベーン真空ポンプと比較した場合、最大で30%の省エネを実現(...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

シール水モニター『SLM』

優れた耐衝撃性！大切なシステム、機器の安全を担うパッケージを用意してお…

『SLM』は、渦巻きポンプのメカニカルシールの冷却と保護を目的に開発された製品です。 振動、凍結環境に対応した堅牢設計で、不純物を含む水にも対応。 テーパ管への付着物は標準付属のプッシュクリーナーにて洗浄可能です。 オプションにて圧力ゲージ、アラーム出力用の近接スイッチを用意しております。 劣悪環境下で使用できうる流量計で、機器の安全を担うパッケージを用意しております。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 日本フローコントロール株式会社