ウェーハハンドリング装置（CHI-02型）

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…

定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転 ユニット全体の揺動(片側最大約45°) が可能です。 自動動作・パルスジェネレーターによる手動操作も可能です。 ・FOSBステージは上下段それぞれ5ステージ、計10ステージあります。 タッチパネルでの設定により、 ロードステージを1～8ステージ アンロードステージを1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム