原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20

さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー

Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈

高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に…

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート 常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ　DRPシリーズ

スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バル…

DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用するCMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ（LDシリーズ）

クリーンなオペレーションを保持

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 LD シリーズ ■ 最高使用圧力：2.06 MPa ■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 ■ ボディ材質：ステンレス鋼（ 鋳造製／鍛造製／バ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

【半導体業界の課題解決に】ALD（原子層蒸着）用バルブ

大流量・高温・高性能。生産性向上に貢献する超高純度用ALD用バルブ

ALD（原子層蒸着）プロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量により高い性能が求められます。 スウェージロックの「原子層蒸着（ALD）用バルブ」は、長寿命を実現し、高速かつ再現性に優れた性能を発揮。より高い熱安定性を求める用途や大流量によるプロセス効率化の向上に寄与する製品も提供。腐食性の高い流体での使用にも優れています。 ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードし...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』

数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体…

超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、 バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン