MM小型卓上PDR-04

静電塗布装置

MAX20kV ■塗布エリア：4インチウエハーサイズ ■制御方式：PLC制御 ■塗布溶液：絶縁材料、導電性材料、各種レジスト etc ■ワークセット：手動（手置き） ■稼働ノズル：ステッピングモータ（XY駆動）、Z軸手動 ■処理レシピ入力：タッチパネル入力 ■液供給：10mlシリンジ ■ノズル：シングルノズル（内径φ100μm～φ1000μmまで各種） ■安全性：扉インターロッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部