クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！

【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル